項次

主要設備 (重要規格)

數量

1

非接觸影像量測顯微鏡

1 台

2

外觀偵測設備

1 台

3

影像偵測設備

1 台

4

數位式卡尺

1 台

5

微動載物台

1 台

6

光學平鏡檢查器

1 台

7

精密高度儀

1 台

8

雷射測定儀—長度量測

1 台

9

電子線性高度計

2 台

10

CCD顯微鏡

1 台

11

真圓度測定儀

1 台

12

三次元座標測定儀

1 台

13

長度校正儀—長度量測

1 台

14

實驗工作桌

10 台

精密量測實驗室 ( 一 )

精密量測實驗室 ( 二 )